產品介紹
六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半導體助劑
中文名稱: 六甲基二硅氮烷
中文別名: 六甲基二硅亞胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
英文名稱: 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS號: 999-97-3
EINECS號: 213-668-5
分子式: C6H19NSi2
分子量:
性狀 無色透明液體
密度(25℃)g/cm3: — ;
折光率(): ±
六甲基二硅氮烷含量(%):≥ ;
六甲基二硅氧烷含量(%):≤
三甲基硅醇含量%:≤ ;
閃點:27℃
沸點:126℃ 色度:≤10
用途:特種有機合成。衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。
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