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常用名 三甲基乙氧基硅烷 
別  名 乙氧基三甲基硅烷
英文名 Ethoxy(trimethyl)silane
CAS號 1825-62-3
EINECS 217-370-6 
分子式 C5H14OSi 
分子量
密  度 ± g/cm3 
沸  點 ± °C
熔  點 -83°C
閃  點 - ± °C
性  狀 透明無色液體
用  途 用于合成有機硅化合物，也用作憎水劑