主營(yíng)產(chǎn)品：半導(dǎo)體工藝設(shè)備，電子元器件專(zhuān)用工藝設(shè)備，集成電路工藝設(shè)備，太陽(yáng)能電池片專(zhuān)用工藝設(shè)備，LED工藝設(shè)備，砷化鎵工藝設(shè)備，磁性材料工藝設(shè)備等，