產(chǎn)品介紹
二氧化硅片是指在硅片表面熱生長(zhǎng)一層均勻的介質(zhì)薄膜,用作絕緣、或者掩模材料。氧化工藝包括高溫干氧氧化、高溫濕氧氧化。公司采用進(jìn)口氧化設(shè)備、工藝實(shí)現(xiàn)氧化層均勻、準(zhǔn)確的生成。森爍科技致力于為客戶提供各種硅片解決方案,針對(duì)客戶不同需求提供定制化服務(wù),在重視客戶滿意度及質(zhì)量服務(wù)至上,持續(xù)提升本公司經(jīng)營(yíng)績(jī)效,不斷改善創(chuàng)新,專注于半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)領(lǐng)域,研發(fā)創(chuàng)新科學(xué)技術(shù),取得技術(shù)與品質(zhì)皆優(yōu)的產(chǎn)品。為客戶提供可定制高質(zhì)量半導(dǎo)體氧化硅片Sio2氧化層硅片,其高質(zhì)量品質(zhì)獲客戶一致好評(píng),回購(gòu)率高且銷售國(guó)內(nèi)外各地,其參數(shù)規(guī)格如下:
外形尺寸:2-12英寸
型號(hào):N/P型,本征(不摻雜)
直徑:50-300mm
總厚度:250-600um
氧化層厚度:50nm-2000nm(常規(guī)100nm,200nm,300nm,500nm,1000nm)
平整度(TIR)<3um
翹曲度(BOW):≤15um
TTV:≤15um,30um
粗糙度:<0.5nm
電阻率:0.001-20000(Ω.cm)
晶向:100/110/111
級(jí)別:IC級(jí)
表面處理:?jiǎn)螔仯p拋,研磨
外形尺寸,型號(hào),總厚度,氧化層厚度,電阻率,表面處理等均可定制