我國(guó)光伏電池技術(shù)是從上世紀(jì)60年代發(fā)展空間太陽(yáng)電池起步的，低成本生產(chǎn)技術(shù)及生產(chǎn)能力在80年代中期逐步建立。上個(gè)世紀(jì)60年代由于國(guó)產(chǎn)裝備技術(shù)落后，無(wú)法滿足電池工藝生產(chǎn)，先后從國(guó)外引進(jìn)了鏈?zhǔn)綌U(kuò)散設(shè)備。進(jìn)入80年代我國(guó)電子工業(yè)專用裝備取得長(zhǎng)足進(jìn)展，電池生產(chǎn)用擴(kuò)散設(shè)備回到管式擴(kuò)散。短短的6年時(shí)間，我國(guó)光伏專用擴(kuò)散設(shè)備經(jīng)歷了從處理125mm x125mm,156mm x 156mn。方硅片向210mm x 210mm方硅片躍進(jìn);擴(kuò)散的質(zhì)量從原來(lái)的單片和整管擴(kuò)散均勻性在7%以內(nèi)的水平，提高到目前單片和整管擴(kuò)散均勻性在4%以內(nèi)的國(guó)際先進(jìn)水毛擴(kuò)散方式從原來(lái)的開(kāi)管擴(kuò)散到現(xiàn)在的環(huán)保、潔凈、節(jié)能、安全的閉管擴(kuò)散;單批次產(chǎn)能從原來(lái)的150片、200片、300片發(fā)展到目前的400片;控制方式從原來(lái)的手動(dòng)、PLC半自動(dòng)控制到目前的微機(jī)全自動(dòng)控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) ● 結(jié)構(gòu)可分為立式、臥式 ● 分組合可，便于安裝調(diào)試 ● 斷電自動(dòng)處理保護(hù)功能 ● 超溫、斷偶保護(hù) ● 恒溫上下偏差報(bào)警 ● 氣體流量上下偏差報(bào)警 ● 斷電氣體保護(hù) ● 系統(tǒng)自動(dòng)修正恒溫區(qū) ● 采用無(wú)油真空機(jī)組 ● 管路采用Swagelok自動(dòng)焊機(jī)焊接，安全、可靠 ● 氣體流量控制采用進(jìn)口質(zhì)量流量控制器 ● 全自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)，定位精度高、重復(fù)性好、裝卸簡(jiǎn)單、調(diào)整簡(jiǎn)易方便；結(jié)構(gòu)可分斜桿式、單桿式、懸臂式