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南京半導體用真空燒結爐咨詢,半導體用真空燒結爐用于真空條件下集成電路、電力電子器件生產線對所生產產品進行燒結、合金、退火、焊接等工藝處理。具有控溫精度高,降溫速度快的特點。半導體用真空燒結爐特點:關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性;具有可編程的升、降溫功能;具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置;具有高抗干擾能力;具有斷電報警、超溫報警、超溫報警等多種安全保護功能;自動或手動自由轉換。半導體用真空燒結爐技術指標:真空室工位:1~3工位;工作室內徑:Φ100-Φ350mm(定制);工作溫度:300℃~1200℃;恒溫區精度:≤±2℃;恒溫區長度:300-1000mm(定制);真空系統:機械泵+擴散泵(分子泵);真空度:5Χ10-3Pa;工藝氣體:N2、Ar、H2等;正壓、負壓均采用數字顯示;工作方式:自動或手動自由轉換。
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