涉VOCs廢氣排放的企業，由于行業不同，其排放的VOCs廢氣成分與濃度各不相同，針對其VOCs廢氣處理的設備需要根據實際情況出發。常用VOCs廢氣處理設備有：催化燃燒設備、噴淋塔設備。 催化燃燒設備，是一款效果好的VOCs凈化設備。催化燃燒爐系列（CO、RCO），在催化劑的作用下，采用低溫（300℃）催化氧化燃燒技術，將VOCs氣體分解成CO2和H2O，完成廢氣凈化。 噴淋塔設備是利用氣體與液體間的接觸，將氣體中的污染物傳送到液體中，然后再將清潔氣體與被污染的液體分離，達到凈化空氣的目的。廢氣經由填充式噴淋塔，采用氣液逆向吸收方式處理，即液體自塔頂向下以霧狀（或小液滴）噴撒而下。廢氣則由塔體（逆向流）達到氣液接觸之目的 ; 此處理方式可冷卻廢氣、去除顆粒及凈化VOCs廢氣氣體，再經過除霧段處理后，排入下一處理環節。