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超聲波掃描顯微鏡（C-SAM）此檢測為應(yīng)用超聲波與不同密度材料的反射速率及能量不同的特性來進(jìn)行分析， 利用純靜水當(dāng)介質(zhì)傳輸超聲波信號，當(dāng)訊號遇到不同材料的界面時會部分反射及穿透，此種發(fā)射回波強度會因為材料密度不同而有所差異，來檢驗材料內(nèi)部的缺陷并依所接收的信號變化將之成像。 是一種非破壞性的檢測組件的完整性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)和材料的內(nèi)部情況的儀器，作為無損檢測分析中的一種，它可以實現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對物料進(jìn)行檢測。被廣泛的應(yīng)用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)（R&D）等領(lǐng)域。