尺寸 550*420*900 電源 220V 50Hz 重量 70KG 分辨率 5.0*10-13Pa·m3/s 測量對象 真空設(shè)備，密封零件，電子芯片等 測量范圍 1*10-2Pa·m3/s-1*10-13Pa·m3/s 加工定制 是 溫度范圍 5-45℃ 操作方式 全自動 標(biāo)準(zhǔn)漏孔 1.8*10-8Pa·m3/s 檢漏口耐壓 2000Pa 響應(yīng)時間 ≤0.5s 啟動時間 ＜3min 機械泵抽速 4L/s 顏色 灰色（底座黑色）