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抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。當所需處理產品的尺寸較大，使用大腔體（80L以上）的真空等離子清洗機時，如果只使用一臺真空泵的話，抽真空速度會比較慢，抽真空所需的時間會很長。因此，大腔體的真空等離子清洗機我們通常會配備真空泵組來提升抽真空的速度。今天我們就來介紹一下等離子清洗機上所用到的幾類真空泵組以及在選擇真空泵組時的注意點。 等離子清洗，等離子表面活化，表面改性，等離子刻蝕等。 真空泵組是將2臺或2臺以上的真空泵組合在一起，形成一個串聯的結構，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機上用到的真空泵組一般有三大類，一種是旋片式真空泵加上羅茨泵；另一種是干式真空泵+羅茨泵；后一種是機械泵加上分子泵。 1.真空等離子清洗的旋片式真空泵+羅茨泵 旋片式真空泵加上羅茨泵組成的泵組又可以稱為油式泵組，這種泵組是我們真空等離子清洗機中常見的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級泵組合而成的泵組。這類泵組一般運用于對潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機上。 旋片式真空泵加上羅茨泵作為真空等離子清洗機中常見的一種泵組，其優點有很多：，能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時間； 第二，結構較為簡單，維護方便； 第三，性價比較高，具有價格優勢。 2.真空等離子清洗的干式螺桿真空泵+羅茨泵 干式螺桿真空泵加上羅茨泵組合成干式泵組，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級泵組合成的泵組。因為都是由干式真空泵組合而成的，所以不會出現油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。干式泵組一般運用于生物醫療領域、半導體領域以及航天航空領域等潔凈度要求較高的行業。 干式泵組作為一款性能優越的泵組，它的優點還真不少： ， 潔凈度高，避免了油污染； 第二， 抽真空速度快，提高了工作效率； 第三， 第三，工作時性能穩定，聲音低； 第四， 第四，對工作環境的要求低，能應對各種惡劣的工作環境。 3. 真空等離子清洗的機械泵+分子泵 機械泵加上分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環境，所以分子泵組一般是運用在鍍膜機、刻蝕機等對真空環境要求高的設備上。 分子泵組這么厲害，那它又有哪些優點呢？，分子泵組啟動快，而且抽速非?？?；第二，分子泵組是不會使用油的，不會產生油污染；第三，維護簡單。 等離子清洗機和低溫等離子體的技術研討，真空等離子表面處理工藝、原理及應用等相關知識。