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真空泵進行拆洗。其步驟為： (1)切斷電源，將上海真空泵從真空系統上卸下， (2)用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環境; (3)卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶); (4)先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等; (5)將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等; (6)取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等;