滑閥式油封機(jī)械泵(簡(jiǎn)稱滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來(lái)改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。 滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級(jí)滑閥泵和雙級(jí)滑閥泵兩種型式。單級(jí)泵的極限真空度對(duì)小泵≤0.6Pa，對(duì)大泵≤1.3Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn))，雙級(jí)泵的極限真空度≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級(jí)型式。這種泵可單獨(dú)使用，也可作其它泵的前級(jí)泵用。