滑閥式油封機械泵(簡稱滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣，也是一種變容式氣體傳輸泵。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同?；y式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。 滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上?；y泵有單級滑閥泵和雙級滑閥泵兩種型式。單級泵的極限真空度對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa(均關氣鎮)，雙級泵的極限真空度≤0.06Pa(關氣鎮)。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。這種泵可單獨使用，也可作其它泵的前級泵用。