脫鹽水又叫除鹽水、去離子水、純水，一般指將水中易去除的強導電質去除又將水中難以去除的硅酸及二氧化碳等弱電解質去除至一定程度的水，水中剩余含鹽量一般在1.0mg/L以下，25℃時，水的電阻率為1.0~10×106Ω.cm。高純水是指25℃時電導率小于0.1 μs/cm和殘余含鹽量小于0.3 mg/L，并去除了非電介質的微量細菌、微生物、微粒等雜質的水，制備方法需蒸餾、膜分離、離子交換和滅菌，主要用于電子和微電子工業，也用于食品、造紙、醫藥、電子、核工業等行業。我國高純水的國家標準將電子級水分為五個級別，相應標準為EW-I、EW-Ⅱ、EW-Ⅲ、EW-IV、EW-V，其中EW-I它所要求的雜質控制指標如下：電阻率在90%時間內達到18 MQ·cm（25℃），其余時間較小值為17 MQ·cm（25℃），大于0.5 μm的微粒數少于100個/mL，細菌個數較大值1個/mL，總有機碳含量不大于50 μg/L，二氧化硅總含量不大于2 μg/L，氯、鉀、鋁、鐵、鈣的含量均不大于0.5 μg/L，而銅、鋅含量不大于0.2 μg/L。