氣態污染物質凈化過程的實質與廢水凈化過程相似，即利用微生物的生命活動將廢氣中的有害物質轉化為簡單的無機物(如水、CO2等)以及細胞質。由于這一過程在氣相中難以進行，所以廢氣生物凈化過程與廢水生物處理過程又有很大的區別，其區別在于:氣態污染物首先要經歷由氣相轉移到液相或固相表面的液膜中的傳質過程，然后才在液相或固相表面被微生物吸附降解。
生物法浄化氣態污染物的機理至今沒有統一的認識，目前在世界上公認影響較大的是荷蘭學
者 Ottengraf依據傳統的氣體吸收雙膜理論提出的生物膜理論。按生物膜理論，生物凈化處理度氣一敘要經歷以下步驟
①度氣中的有機污染物首先與水接觸，并溶解于水中(即由氣膜擴散進人液膜)②溶解于液膜中的污染物成分在濃度差的推動下進一步擴散到生物膜，進而被微生物捕獲③微生物對吸收的污染物成分進行氧化分解和同化合成，產生的代謝物一部分重新回到液相中，一部分作為細胞物質或細胞代謝能源，還有一部分氣相產物(如CO等)則析出到空用來凈化氣態污染物的微生物種類繁多，按其獲取營養的方式不同，可分為自養微生物和異氣中養微生物兩大類。自養微生物以CO、CO、C中的碳元素為其的碳源，利用光能或氧化MH、H1S，S和Fe+等獲得必要的能量，在細胞內合成復雜的有機物，以構成自身的細胞成分，因此，它特別適合于無機物的轉化，如采用硝化、反硝化及硫酸菌等去除濃度不太高的臭味氣快S等，異養微生物則是通過對有機化合物的氧化來獲取營養物質和能量，適合進行有機物的轉化。這些異養微生物以異養型細菌為主，霉菌為次，極少有酵母菌，在適當溫度、度和有氧的條件下，該類微生物能較快地完成污染物的降解，目前適合生物處理的氣態有機污染物主要有乙醇、硫醇、酚、甲酚、明噪、脂肪酸、乙，用和胺等。