精密配件加工具有很多優勢，此前我們也跟大家分享過精密配件加工具體的優勢在哪里，明顯的就是可以達到普通加工達不到的高精度，高精度也有賴于精密的加工設備和準確的克制系統，并采用精密掩膜作為中介物，來實現對外表層物質去除或添加的量做出極細微的控制，精密配件加工精度以納米，甚至以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密配件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。