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蘇州多線切割斷線分析 博泰供蘇州數控線切割機床 南京線切割的價格 上海蘇州線切割聯系方式:13338661786 司經理微信:13338661786公司地址:蘇州市相城區望亭鎮迎湖村新浪中路8號網站: 摘要:在多線切割工藝中,鍍銅金屬線對硅單晶切割片的質量有著重要影響,成為多線切割工藝需要控制的重要輔料。斷線問題一直是困擾多線切割工藝人員的主要問題之一,一直得不到有效的解決,從材料、設備、工藝以及人員等多個視角對斷線問題進行了分析,并給出相應的解決措施。 多線切割工藝的基本原理是通過鍍銅金屬線攜帶砂漿按 的速度對硅單晶進行切割。在切割過程中,斷線問題是困擾多線切割工藝技術人員的主要問題之一,該問題的解決對硅片的質量和成品率有著非常重要的意義[5-7]。隨著硅單晶尺寸逐步增大以及硅片向越來越薄的方向發展,斷線問題對設備有效運行時間以及成本控制等帶來的影響日趨***,因此斷線問題成為多線切割工藝丞待解決的主要技術問題之一。在多線切割工藝領域,鮮有關于斷線問題的文獻報道。 本文從材料、設備、工藝以及人員等多個視角對斷線問題進行了分析,以期給出相應的解決措施,為多線切割工藝人員解決斷線問題提供一些解決方案。1多線切割機加工原理 多線切割方式因具有厚度一致性好、幾何參數一致性好、適于批量生產等優勢,已經成為單晶切割的主要方式。 多線切割機的原理如圖1所示,通過伺服電機控制的放線輪拉出的鍍銅拉絲繞過幾個起轉向作用的滑輪,然后經過控制張力的張力控制器,在切割室內連續纏繞在2~4個主導輪上,形成一個在水平面上彌補的平行線網。而在線網的上方,單晶的兩側布置有砂漿噴灌提供穩定的砂漿流量。 鋼絲繞過線網后再通過滑輪和張力控制器回到收線輪上,在切割時高速運動的鋼線攜帶附著在鋼絲上的SiC磨料對硅棒進行研磨從而達到切割的效果。在切割過程中鋼線通過滑輪的引導,在導輪上形成一張線網,而待加工硅棒通過工作臺的下降或上升實現工作的供給,把硅棒按 晶格方向切割成片。2斷線問題的原因分析及解決措施 鍍銅金屬線質量缺點導致的斷線問題及解決措施 在多線切割工藝中,鍍銅金屬線是在 的張力條件下以 的速度與硅單晶之間相互作用,從而實現對硅單晶的切割。在切割過程中,鍍銅金屬線需要承受 的拉力,從而鍍銅金屬線