一、結(jié)構(gòu)特征 M3手持式四探針測(cè)試儀主機(jī) 配ST2253-F01鎢針探頭測(cè)試硅 ST2558B-F01薄膜探頭測(cè)試ITO膜 二、概述 2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)： M3手持式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性?xún)r(jià)比測(cè)量?jī)x器。 該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā返葒?guó)標(biāo)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。 2.2配套組成：標(biāo)準(zhǔn)配置由M-3型主機(jī)、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測(cè)試臺(tái)當(dāng)臺(tái)式機(jī)使用。 2.3優(yōu)勢(shì)特征： 1美觀(guān)適用：彩色流線(xiàn)型手持式面板、帶防滑墊，符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用，也可以定制小型旅行手提箱包裝，便于野外或旅行使用。 2高精度：帶完善厚度、形狀修正功能，測(cè)試準(zhǔn)確。同行中手持式多為簡(jiǎn)易程序，沒(méi)有完整修正功能，無(wú)法修正誤差。 3寬量程：超寬五個(gè)檔位，相當(dāng)于中檔臺(tái)式機(jī)的量程，同行中手持式多為兩到三個(gè)檔位，測(cè)試范圍有限，適應(yīng)性不廣。 4操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定：輕觸數(shù)字化鍵盤(pán)實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換，簡(jiǎn)便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定易受干擾。 5手動(dòng)/自動(dòng)一體： 6顯示方式美觀(guān)清晰：由高亮綠色數(shù)碼和ＬＥＤ數(shù)字表頭顯示，不怕環(huán)境背景暗或野外強(qiáng)光； 7待機(jī)和工作時(shí)間長(zhǎng)（不小于兩天），有大容量可充電鋰電池電池供電，環(huán)保耐用。 2.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見(jiàn)《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》 1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如ST2253-F01型，以測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻； 2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如ST2558B-F01型，可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。 3配專(zhuān)用箔上涂層探頭，如ST2558B-F02型，也可測(cè)試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。 4換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器的體電阻進(jìn)行測(cè)量。 2.5測(cè)試臺(tái)選配：根據(jù)不同材料特性需要，測(cè)試臺(tái)可有多款選配。詳情見(jiàn)《四探針測(cè)試臺(tái)型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》 四探針?lè)y(cè)試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動(dòng)）或SZT-C型（快速恒壓）測(cè)試臺(tái)。 二探針?lè)y(cè)試細(xì)長(zhǎng)棒類(lèi)材料選配SZT-K型測(cè)試臺(tái). 平行四刀法測(cè)試橡塑材料選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)。 2.6適用范圍：手持式使用，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)器件廠(chǎng)、科研單位、高等院校四探針?lè)▽?duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。 。 三、基本技術(shù)參數(shù) 1.測(cè)量范圍、分辨率 電 阻： 0.010Ω～ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω～ 10 Ω 電 阻 率： 0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω～ 10 Ω-cm 方塊電阻： 0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω～ 10 Ω/□ 2.可測(cè)材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配測(cè)試臺(tái)則由選配測(cè)試臺(tái)決定如下： 直 徑：SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm。 SZT-C方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm。 長(zhǎng)(高)度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm。 測(cè)量方位: 軸向、徑向均可。 3.量程劃分及誤差等級(jí)（括號(hào)內(nèi)為拓展量程） 量程（Ω-cm/□） 2.000 （200.0ｍ） 20.00 （2.000ｍ） 200.0 （20.00） 2.000k （200.0） 20.00k （2.000k） 電阻測(cè)試范圍 0.010～2.200 2.000～22.00 20.00～220.0 0.200～2.200k 2.000～50.00k 電阻率/方阻 0.010/0.050～2.200 2.000～22.00 20.00～220.0 0.200～2.200k 2.000～20.00k/100.0k 基本誤差 ±1%FSB±2LSB ±2%FSB±2LSB 4)充電器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電DC3.7V. 5)外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm 凈 重：≤0.3kg