一、結構特征 M3手持式四探針測試儀主機 配ST2253-F01鎢針探頭測試硅 ST2558B-F01薄膜探頭測試ITO膜 二、概述 2.1基本功能和依據標準： M3手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性價比測量儀器。 該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等國標并參考美國 A.S.T.M 標準。 2.2配套組成：標準配置由M-3型主機、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測試臺當臺式機使用。 2.3優勢特征： 1美觀適用：彩色流線型手持式面板、帶防滑墊，符合人體工程學設計。適合手持式變動場合操作使用，也可以定制小型旅行手提箱包裝，便于野外或旅行使用。 2高精度：帶完善厚度、形狀修正功能，測試準確。同行中手持式多為簡易程序，沒有完整修正功能，無法修正誤差。 3寬量程：超寬五個檔位，相當于中檔臺式機的量程，同行中手持式多為兩到三個檔位，測試范圍有限，適應性不廣。 4操作簡便、性能穩定：輕觸數字化鍵盤實現參數設定、功能轉換，簡便而且免除模擬定位器的不穩定易受干擾。 5手動/自動一體： 6顯示方式美觀清晰：由高亮綠色數碼和ＬＥＤ數字表頭顯示，不怕環境背景暗或野外強光； 7待機和工作時間長（不小于兩天），有大容量可充電鋰電池電池供電，環保耐用。 2.4探頭選配：根據不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規格特征選型參照表》 1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，如ST2253-F01型，以測試硅等半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻； 2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，如ST2558B-F01型，可測金屬箔、碳紙等導電薄膜，也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。 3配專用箔上涂層探頭，如ST2558B-F02型，也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。 4換上四端子測試夾具，還可對電阻器的體電阻進行測量。 2.5測試臺選配：根據不同材料特性需要，測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規格特征選型參照表》 四探針法測試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動）或SZT-C型（快速恒壓）測試臺。 二探針法測試細長棒類材料選配SZT-K型測試臺. 平行四刀法測試橡塑材料選配SZT-G型測試臺。 2.6適用范圍：手持式使用，儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。 。 三、基本技術參數 1.測量范圍、分辨率 電 阻： 0.010Ω～ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω～ 10 Ω 電 阻 率： 0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω～ 10 Ω-cm 方塊電阻： 0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω～ 10 Ω/□ 2.可測材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配測試臺則由選配測試臺決定如下： 直 徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm。 SZT-C方測試臺直接測試方式180mm×180mm。 長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm。 測量方位: 軸向、徑向均可。 3.量程劃分及誤差等級（括號內為拓展量程） 量程（Ω-cm/□） 2.000 （200.0ｍ） 20.00 （2.000ｍ） 200.0 （20.00） 2.000k （200.0） 20.00k （2.000k） 電阻測試范圍 0.010～2.200 2.000～22.00 20.00～220.0 0.200～2.200k 2.000～50.00k 電阻率/方阻 0.010/0.050～2.200 2.000～22.00 20.00～220.0 0.200～2.200k 2.000～20.00k/100.0k 基本誤差 ±1%FSB±2LSB ±2%FSB±2LSB 4)充電器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電DC3.7V. 5)外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm 凈 重：≤0.3kg