氮化硼的制備工藝
氮化硼粉由硼、鹵化硼、氧化硼或硼酸、硼砂與含氮鹽類在氮氣或氬氣中合成,合成溫度900~1600 C。
氮化硼制品是往微米級人工合成氮化硼粉中加入助燒結劑和(或)穩定劑,經混料、成型、燒結而制得。
低溫合成氮化硼粉含有B。0。,易燒結,但抗水化性差,需加入穩定劑(如Ca。P0。)與殘存的B:0。生成不溶解的固溶體。高溫合成的氮化硼粉純度高,但難于燒結,需加入助燒結劑(如B。O。)及穩定劑(如A1N、Si()。、ca0、A1。0。等)。氮化硼制品的燒結可采用冷壓燒結法及熱壓燒結法,一般多采用熱壓燒結法。冷壓燒結法成型壓力50~400MPa,燒結溫度1800~210。_C,可制得密度為O.95~1.52g/cm3。的制品。熱壓燒結法成型壓力5~30MPa,燒結溫度1 600~1900℃,可制得密度為1.88~2.15g/cm3的高致密度制品。大型或復雜形狀的制品可采用熱等靜壓法制備。薄膜制品可采用化學氣相沉積法制備。