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    鍍膜設備價格-廣東報價合理的磁控濺射卷繞鍍膜設備供應

    供應商:肇慶市高要區恒譽真空技術有限公司【公司商鋪】

    所在地:廣東省肇慶市

    聯系人:宋生

    價格:面議

    品牌:恒譽,,,,

    發布時間:2023-06-08

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    【產品詳情】鍍膜設備價格-廣東報價合理的磁控濺射卷繞

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    優異的服務是客戶的需求,而滿足客戶的需求是我們不變的宗旨。恒譽真空為了客戶能夠更快的接收到產品,我們出售的磁控濺射卷繞鍍膜設備提供使用陸運;公路運輸的方式來運送。創新是根本,質量是生命,務實是宗旨,效益是目標。我司堅持創新經營模式,勇于創新勇于嘗試;堅持產品質量的追求,不懈進取,努力為客戶提供質量過人的產品;我司堅持在務實誠信的基礎上,努力實現企業效益的增長。

    肇慶市高要區恒譽真空技術有限公司堅持以人為本戰略,擁有一批高素質技術人員和經驗豐富的銷售隊伍。主要以磁控濺射卷繞鍍膜設備的生產銷售為主要經營方向,產品主要用于鏡片,鏡頭,飾品等表面鍍膜,能起到增透、濾光、裝飾等功效,在全國一直好銷售不衰,用戶熱情不減。恒譽真空的宗旨是求真、創新、有效,歡迎國內外志同道合的朋友聯系我司,洽談合作。

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    磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

    靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態和非平衡磁控陰極。平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高,但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,基片區域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉磁場。但旋轉磁場需要旋轉機構,同時濺射速率要減小。旋轉磁場多用于大型或貴重靶。如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業設備,多用磁場靜止靶源。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時接地技術很復雜,因而難大規模采用。為解決此問題,發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉化,與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表面,也發生在陽極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國萊寶發明的孿生靶源技術,很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極,從而消除陽極表面氧化或氮化。冷卻是源(磁控,多弧,離子)所必需,因為能量很大一部分轉為熱量,若無冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源。

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