3d形貌輪廓儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，其3D重建算法，自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合測量精度可達亞納米級別，讓3D測量變得簡單。 產品功能 1）3d形貌輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能； 2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能； 3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能； 4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能； 5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能； 6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。 技術參數 產品型號：SuperView W1系列 產品名稱：光學3D表面輪廓儀 影像系統：1024×1024 光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選） 干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選） XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋 Z軸行程：100mm，電動 Z向掃描范圍：10mm Z向分辨率：0.1nm 可測樣品反射率：0.05%-100 水平調整：±5°手動 粗糙度RMS重復性：0.005nm 臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ 主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快 生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司 注釋：更多詳細產品信息，請聯系我們獲取 產品特點 1、參數測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積； 2、環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿； 3、雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙； 4、自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫”； 5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。 3d形貌輪廓儀讓輪廓測量價格更為實惠，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。