純水指的是不含雜質(zhì)的H2O。從學術(shù)角度講，純水又名高純水，是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、 化學化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對水質(zhì)純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質(zhì)含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中，水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。隨著電子級水標準的不斷修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制純水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。