3M氟化液FC-3283是無色透明全氟化學品，具有良好的化學惰性、電氣絕緣性能、熱傳導性和的第表面張力應(yīng)用于半導體制造廠作為熱傳導介質(zhì)。其液體溫度范圍為-50°C 至128°C，主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測試設(shè)備及其他設(shè)備。因為FC-3283是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過期。FC-3283沸點高，其隨時間的揮發(fā)也比較少。氫氟醚隨著科技發(fā)展，電子產(chǎn)品的集成度越來越高，要確保產(chǎn)品的功能正常，產(chǎn)品的清洗變得極為重要。過去電子行業(yè)通常使用的CFC，因為會造成自氧層的破壞及溫室效應(yīng)，將被禁用。其替代品HCFC因為仍然含氧，只能作為過渡性清洗溶劑。
3M公司針對此發(fā)展趨勢，開發(fā)了NOVEC
HFC（Hydrofluo-roetber）氫氟醚溶劑系列，與HCFC等過渡性替代溶劑不同，3M NOVEC
HFE由于***的環(huán)保特性，成為長期的解決方案。為需要***清洗制程的產(chǎn)業(yè)提供了有效，安全，符合環(huán)哇保法規(guī)要求的解決方案。