產品介紹
產品信息：
在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。
技術參數：
◆樣品臺XYZR四維調節，XY行程根據樣品臺尺寸/晶圓尺寸而定，Z軸行程10mm，XYZ整體分辨率3μm，360°旋轉粗調可鎖緊
◆兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試
◆整體尺寸小，方便攜帶，底部隔振地腳，提高測試穩定性
◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內）
◆探針采用交叉滾珠導軌/精密燕尾槽，線性移動，無回程差設計
◆1微米以上電極/PAD使用
◆U型探針架，可以放置多個探針座
◆多被用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；廣泛用于科研院校以及公
