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HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 3位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節(jié)器控制閥門的3種開啟方式: 一個電磁閥控制閥門的完全關閉和完全開啟, 另一個電磁閥用于控制和調節(jié)閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).

HVA 3位真空閘閥 21700 系列產品特點
1. 機械預設, 遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術參數(shù)：
閥門材質：


閥門主體

304不銹鋼


焊接波紋管軸封

AM-350


驅動軸和驅動銷

硬質不繡鋼


閥門密封方式：


高真空

氟橡膠


漏率

<2×10-9 mbar l/s


差壓關閉

1 bar


真空：


壓力范圍

高真空1x10-9 mbar


漏率

< 2x10-9  mbar l/S


差壓關閉

1 bar (任意位置)


開啟前 壓力

≤ 30 mbar


烘烤溫度（不含電磁閥）：


閥門主體

150 °c


驅動方式

氣動 60 °c


使用壽命：100,000啟閉次數(shù)


公稱通徑：DN100-320 mm





美國 HVA 真空閥門-美國 真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū) 指定總代理商。
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