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HVA 真空閘閥 真空插板閥81000系列
上海伯東美國 HVA 超高真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質鋁, 適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過 150°C 的高真空應用. HVA 真空閘閥 81000系列專為系統(tǒng)集成設計研發(fā), 廣泛應用于半導體, 太陽能, LED / FPD, 涂料, 鍍膜和生物制藥.

HVA 高真空閘閥 81000系列 產品性能：
1. 真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的*大完整性, 有效消除了虛漏和缺陷部分, 避免閥體變形
2. 比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
3. 適用壽命長: 400,000啟閉次數
4. 高性能 PEEK 組件
HVA 真空閘閥 81000系列 技術參數：
閥門材質：


閥門主體

6061-T6鋁


軸封

[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS


支架

6061-T6/ PEEK


密封件

氟橡膠


閥門密封方式：


高真空

氟橡膠


漏率

<2×10-9 mbar l/s


差壓關閉

1 bar


真空：


壓力范圍

高真空1x10-7 mbar


漏率

< 2x10-9  mbar l/S


差壓關閉

bar (任意位置)


開啟前*大壓力

≤ 30 mbar


烘烤溫度（不含電磁閥）：


閥門主體

120 °c


驅動方式

80 °c


使用壽命：400,000啟閉次數


公稱通徑：DN100-320 mm




美國 HVA 真空閥門-美國*大真空閥門制造商, 美國HVA原裝進口真空閥門, 超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造. 主營高真空閘閥, 高真空角閥廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領域. 上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū) 指定總代理商。
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