參數(shù)：
儀器尺寸：305mm×400mm×390mm（W×D×H）
真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×110mm（D×H）
靶（上部電極）：50mm× （D×H）
濺射靶材：Au（標(biāo)配），也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。
濺射靶材大小：φ50mm
樣品臺(tái)：樣品臺(tái)尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái)，也可根據(jù)自身要求定制樣品臺(tái)
濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流：0-50mA
濺射定時(shí)：0-360S
蒸碳電流0-100A(AC)
蒸發(fā)材料：碳纖維
蒸發(fā)工作電壓：0-30V
蒸發(fā)時(shí)間：0-1S
微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
可通入氣體：多種
輸入電壓：220V(可做110V),50HZ
真空泵：2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（國(guó)產(chǎn)VRD-8）