產品介紹
參數:
主機規格:305mm×365mm×325mm(W×D×H)
靶(上部電極):金:50mm× (D×H)
靶材:Au(標配),也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等
樣品室:硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表:真空度:≤ 4X10-2 mbar
離子電流表:電流:50mA
定時器:時間:3600s
微型真空氣閥:可連接φ3mm軟管
可通入氣體:多種
電壓:-1600 DCV
輸入電壓:220V(可做110V),50HZ
機械泵:標準配置2L/S(國產VRD-8)