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參數：
主機規格：305mm×365mm×325mm（W×D×H）
靶（上部電極）：金：50mm× （D×H）
靶材：Au（標配），也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等
樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar
離子電流表：電流：50mA
定時器：時間：3600s
微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
可通入氣體：多種
電壓：-1600 DCV
輸入電壓：220V(可做110V),50HZ
機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）