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參數：
1.主機規格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）
2.靶（上部電極）：金：50mm× （D×H）
3.靶材：Au（標配）
4.樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）
5.靶材尺寸：Ф50mm
6.真空指示表： 真空度：≤ 4X10-2 mbar
7.離子電流表： 電流：50mA
8.定時器：時間：1-360s
9.微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
10.可通入氣體： 多種
11.電壓： -2800 DCV
12.機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）