參數：
主機規格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）
電源規格：220V(可做110V),50HZ
靶（上部電極）：50mm× （D×H）
靶材：Au（標配），也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。
真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃115mm×100mm（D×H）
定時器：時間：3600S
機械泵：1L/S
電壓：-1200 DCV