參數：
主機規格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部電極）：50mm× （D×H）
靶材：Au（標配）也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。
樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）
樣品臺尺寸：可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據自身要求定樣品臺
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar
離子電流表：電流：50mA
定時器：時間：0-360S
微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管
可通入氣體：多種
電壓：-1600 DCV
機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）
輸入電壓：220V(可做110V),50HZ