GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺謝儀


GSL-1100X-SPC-16


本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。


1、水：不需要


2、電：AC220V50Hz,有良好接地


3、氣：設備腔室內需充注氫氣（純度 %以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）


4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上


5、通風裝置：不需要


1、電源：220V


2、總功率：<2000W(包括鎮空泵)


3、真空室：0160mm×120mm


4、樣品臺：O50mm,且高度可調，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜


5、max均勻鍍膜：045mm


尺寸：400mmx300mm×400mm


重量：30KG


1、金靶材1個


2、進氣針閥1個


3、保險絲2個


金、銦、銀、鉑等各種靶材