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產品名稱

VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀



產品型號

VTC-16-3HD



安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用.




1、水：不需要




2、電：AC220V50Hz,有良好接地




3、氣：設備腔室內需充注氣氣（純度 %以上），需自備氛氣氣瓶（帶壓減閥）







4.工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上



5、通風裝置：不需要


主要參數

1、輸入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)



2、輸出功率：1600VDC50mA



3、石英置：0160mm×120mm



4、樣品臺：050mm(可選購加熱型樣品臺，溫度可到500℃：濺射時間不可超過5min)



5、真空泵：120L/M旋片式真空泵






7、靶材：尺寸直徑047mm,厚度 -3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni





產品規格

尺寸：360mm×350mm×3600mm;



重量：50kg


可選配件

1、KF25真空接口、卡箍



2、不銹鋼波紋管(600mm)



3、旋片式真空泵(120L/M)



4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材



5、加熱型樣品臺