腔體尺寸

石英玻璃，直徑150mm*高度130mm



供電規(guī)格

AC220V,200W



濺射電壓

MAX 2500V



濺射電流

MAX 30mA



靶材尺寸

直徑57mm,厚度 ~



適用靶材

貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金屬Cu、W、Ag、Cr等






樣品臺(tái)可調(diào)高度

20-50mm


樣品臺(tái)尺寸

直徑55mm


工作真空度

1~20Pa


氣體路數(shù)

單路


補(bǔ)氣流量

手動(dòng)調(diào)節(jié)


控制

觸屏控制


真空泵

VRD-8
腔體尺寸

石英玻璃，直徑150mm*高度130mm



供電規(guī)格

AC220V,200W



濺射電壓

MAX 2500V



濺射電流

MAX 30mA



靶材尺寸

直徑57mm,厚度 ~



適用靶材

貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金屬Cu、W、Ag、Cr等






樣品臺(tái)可調(diào)高度

20-50mm


樣品臺(tái)尺寸

直徑55mm


工作真空度

1~20Pa


氣體路數(shù)

單路


補(bǔ)氣流量

手動(dòng)調(diào)節(jié)


控制

觸屏控制


真空泵

VRD-8