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腔體尺寸

石英玻璃，直徑150mm*高度130mm



供電規格

AC220V,200W



濺射電壓

MAX 2500V



濺射電流

MAX 30mA



靶材尺寸

直徑57mm,厚度 ~



適用靶材

貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金屬Cu、W、Ag、Cr等






樣品臺可調高度

20-50mm


樣品臺尺寸

直徑55mm


工作真空度

1~20Pa


氣體路數

單路


補氣流量

手動調節


控制

觸屏控制


真空泵

VRD-8
腔體尺寸

石英玻璃，直徑150mm*高度130mm



供電規格

AC220V,200W



濺射電壓

MAX 2500V



濺射電流

MAX 30mA



靶材尺寸

直徑57mm,厚度 ~



適用靶材

貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金屬Cu、W、Ag、Cr等






樣品臺可調高度

20-50mm


樣品臺尺寸

直徑55mm


工作真空度

1~20Pa


氣體路數

單路


補氣流量

手動調節


控制

觸屏控制


真空泵

VRD-8