參數

CIS-400


外形尺寸

424*265*260MM


輸入電壓

220V/50Hz


濺射電壓

600V


工作原理

磁控濺射


功率

4507


靶材尺寸

057* (AU)


可選靶材

金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材


真空泵

直連式兩級旋片式真空泵1心/S


真空室

0128*130MM高強度玻璃


極限真空

1PA(電阻式真空規)


抽氣節拍

≤90S


樣品杯

00樣品杯1個/025樣品杯4個/15樣品杯6個


樣品室進氣

自動：高精度微量進氣閥


進氣接頭

O4快擰接頭（外徑4M,內徑 氣管)


江作電流

5-45MA任意可調


顆粒大小

6-10NM


保護功能

過流保護、真空保護