臭氧氧化技術因臭氧氧化性強、反應速度快、通常情況下無二次污染等優點，在飲用水消毒、工業廢水處理等方面應用逐漸廣泛。但臭氧在水處理中低擴散率及高運行費用使其在廢水處理中的應用受到限制。與其他 工藝聯用提高臭氧的利用率(如超聲氧化)，正成為一個熱點。


臭氧本身就是很強的氧化劑，它能夠與多種氧化劑多重建組合，從而產生化學物質反應，但不能進行單件快速反應。臭氧可以看作是具有高活性能與許多物質發生反應的一種物質。臭氧氧化反應的實際是依賴污染物的反應路徑，并不取決于他獲得負離子的能力，反應模式強調了臭氧的反應路徑，屬于氧化誘導氧化熱力學的方式。供氧氧化反應，取決于臭氧是否能在合理的時間范圍內氧化污染物，影響因素很多，影響參數包括pH值，臭氧的分壓，時間和區域以及界面等。在反應過程中，更注重環保效應，對環境產生的影響很小。在反應原理中，污染物的降解是通過臭氧直接攻擊化學鍵，自由基清除劑的存在影響不大。溫度是通過提高反應速率常數和臭氧溶解度隨溫度變化的間接效應兩種作用同時影響結果的，一般來說，溫度升高，臭氧溶解性降低，從而可用于反應的臭氧量減少，降解程度降低，但也有特殊情況。


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