在催化劑的作用下，有機廢氣在較低的起燃溫度下（250～400℃），發生無焰燃燒，碳氫化合物被氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有機物的目的，該方法是凈化有機廢氣、消除惡臭的有效手段之一。 含VOCs的廢氣經風機導入換熱器，經由換熱器加熱后，再通過催化燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度，通過催化劑床，催化分解會釋放熱能，而VOCs被分解為二氧化碳及水。經凈化后氣體溫度升高，再次進入換熱器與未經處理的VOC廢氣進行熱交換，以此減少能源的消耗。最后，凈化后的氣體從煙囪達標排放到大氣中。