5822i離子風(fēng)機的精巧設(shè)計是配合自動化制程設(shè)備內(nèi)緊密的空間條件，和嚴(yán)格的靜電防控要求，尤其適用于硬盤制造和半導(dǎo)體后段封測工業(yè)。它能維持<±3 V 的離子平衡，又可接連外置回饋系統(tǒng)以達(dá)至<±1 V 的
效能。內(nèi)置的離子平衡自動修正系統(tǒng)，能確保目標(biāo)對象在控制中，減少維修次數(shù)和降低操作成本。配置的氣流定向器，無須更多的空間，也能把平衡的離子直接吹到目標(biāo)。
 
特點
±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達(dá)至±1 V)
設(shè)備監(jiān)控接口和聲響報警
外置控制盒
符合潔凈度 ISO 14644-1 Class 4
 
優(yōu)點
直送吹風(fēng)設(shè)計能改善離子吹送和靜電控制
對產(chǎn)品錯誤能作出快速反應(yīng)
允許更彈性的安裝位置，又能維持效能
適合在高要求的微污染控制環(huán)境使用
 
定向氣流
氣流定向器疊加在風(fēng)機上，把氣流直接吹向目標(biāo)，就算在比較遠(yuǎn)的工作距離，也可避免離子分散和互相結(jié)合的問題，維持優(yōu)越的消散時間。