純水設備，它采用的是主要是反滲透膜技術。純水設備它的工作原理是對水施加一定的壓力，純水設備使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜，純水設備而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，純水設備從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;純水設備反滲透膜上的孔徑只有 微米,而病毒的直徑一般有 - 微米,普通細菌的直徑有 -1微米。
近幾十年以來，混合床離子交換技術一直作為超純水制備的標準工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中使用大量的化學藥品(酸堿)和純水，并造成一定的環境問題，因此需要開發無酸堿超純水系統。
正因為傳統的離子交換已經越來越無法滿足現代工業和環保的需要，于是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的再生使用的是電，而不再需要酸堿，因而更滿足于當今世界的環保要求。
自從1986年EDI膜堆技術工業化以來，全世界已安裝了數千套EDI系統，尤其在制藥、半導體、電力和表面清洗等工業中得到了大力的發展，同時在廢水處理、飲料及微生物等領域也得到廣泛使用。
超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水設備又稱做:超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。