一、紫外線式臭氧發生器
該類臭氧發生器是使用特定波長（185mm）的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
二、電解式發生器
該類臭氧發生器其特性是采用新型PEM膜用低壓直流導通固態膜電極的正負兩極電解去離子水，水在特殊的陽極溶液界面上以質子交換的形式被分離為氫氧分子，氫從陰極溶液界面上直接被排放，氧分子在陽極介面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，并聚合成臭氧分子。比較常規電暈法發生器的制取方式，有以下優點：
　　1.所產生的臭氧氣體濃度高，重量比數倍于電暈法臭氧發生器， 可達到20%（大于250mg/L）
　　2.所產生的臭氧氣體中，不含氮氧化合物（NOx），無致癌物質。
　　3.工作時抗環境濕度影響高達85%，即使在潮濕的環境下工作下，也能穩定地保持臭氧產量。
　　4.由于使用直流低電壓電解方式，工作時不會產生電磁波和噪音，與其它精密儀器共同工作時，不會造成干擾。
　　5.因所產生的臭氧濃度高，投入水中同等值的臭氧量，用本方式可達到較高的水中剩余臭氧濃度，即可對飲用水進行滅菌與消毒，并可制出高濃度的臭氧水（消毒劑）
　　6.擁有的使用壽命，數倍于電暈法臭氧發生量，膜電極使用壽命。