臭氧發生器的氣源
臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。
開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠高于開放式。
 
一、紫外線式臭氧發生器
該類臭氧發生器是使用特定波長（185mm）的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
二、電解式發生器
該類臭氧發生器其特性是采用新型PEM膜用低壓直流導通固態膜電極的正負兩極電解去離子水，水在特殊的陽極溶液界面上以質子交換的形式被分離為氫氧分子，氫從陰極溶液界面上直接被排放，氧分子在陽極介面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，并聚合成臭氧分子。比較常規電暈法發生器的制取方式，有以下優點：
　　1.所產生的臭氧氣體濃度高，重量比數倍于電暈法臭氧發生器， 可達到20%（大于250mg/L）
　　2.所產生的臭氧氣體中，不含氮氧化合物（NOx），無致癌物質。
　　3.工作時抗環境濕度影響高達85%，即使在潮濕的環境下工作下，也能穩定地保持臭氧產量。
　　4.由于使用直流低電壓電解方式，工作時不會產生電磁波和噪音，與其它精密儀器共同工作時，不會造成干擾。
　　5.因所產生的臭氧濃度高，投入水中同等值的臭氧量，用本方式可達到較高的水中剩余臭氧濃度，即可對飲用水進行滅菌與消毒，并可制出高濃度的臭氧水（消毒劑）
　　6.擁有強的使用壽命，數倍于電暈法臭氧發生量，膜電極使用壽命強。