系統方案

普賽斯半導體功率器件C-V測試系統主要由源表、LCR 表、矩陣開關和上位機軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在 ~1MHz，源表(SMU)負責提供可調直流電壓偏置，通過矩陣開關加載在待測件上。

 





進行C-V 測量時，通常在電容兩端施加直流偏壓，同時利用一個交流信號進行測量。一般使用的交流信號頻率在10KHz 到1MHz   之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描，掃描過程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流，從而計算出不同電壓下的電容值。

系統優勢



頻率范圍寬：頻率范圍10Hz~1MHz連續頻率點可調；



高精度、大動態范圍：提供0V~3500V偏壓范圍，精度 %；



內置CV測試：內置自動化CV測試軟件，包含C-V（電容- 電壓），C-T（電容- 時間），C-F（電容 - 頻率）等多項測試測試功能;



兼容IV測試：同時支持擊穿特性以及漏電流特性測試；



實時曲線繪制：軟件界面直觀展示項目測試數據及曲線，便于監控；



擴展性強：系統采用模塊化設計，可根據需求靈活搭配；




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