半導(dǎo)體超純水設(shè)備是應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)零件清洗的超純水設(shè)備，需要符合特定的用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國(guó)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、 Ω.cm)我國(guó)電子工業(yè)超純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體(semiconductor)，指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體材料很多，按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類。鍺和硅是較常用的元素半導(dǎo)體;化合物半導(dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ族化合物：砷化鎵、磷化鎵等;Ⅱ-Ⅵ族化合物：硫化鎘、硫化鋅等;氧化物：錳、鉻、鐵、銅的氧化物，以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體：鎵鋁砷、鎵砷磷等。除上述晶態(tài)半導(dǎo)體外，還有非晶態(tài)的玻璃半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體等。
電去離子（Electrodeionization）簡(jiǎn)稱EDI，是一種將離子交換技術(shù)，離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)。屬高科技綠色環(huán)保技術(shù)。EDI凈水設(shè)備具有連續(xù)出水、無(wú)需酸堿再生和無(wú)人值守等優(yōu)點(diǎn)，已在制備純水的系統(tǒng)中逐步代替混床作為精處理設(shè)備使用。這種技術(shù)的環(huán)保特性好，操作使用簡(jiǎn)便，愈來(lái)愈多地被人們所認(rèn)可，也愈來(lái)愈多廣泛地在醫(yī)藥、電子、電力、化工等行業(yè)得到推廣。

EDI超純水設(shè)備的主要特點(diǎn)：
1.產(chǎn)水水質(zhì)高而具有較佳的穩(wěn)定度高
2.連續(xù)不間斷制水，不因再生而停機(jī)。
3.模塊化生產(chǎn)，并可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。
4.不須酸堿再生，無(wú)污水排放。
5.無(wú)酸堿再生設(shè)備和化學(xué)藥品儲(chǔ)運(yùn)。
6.設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
7.運(yùn)行費(fèi)用及維修成本低。
8.運(yùn)行操作簡(jiǎn)單，勞動(dòng)強(qiáng)度低