高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。 高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體。 常見高純氣體的用途 氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發泡劑等； 氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉； 二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉；甲硫醇用于合成染料、醫藥、農藥； 乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等