低溫空分制氧設備工作原理
利用低溫精餾工藝分離空氣可制取氧氣、氮氣和氬氣。
空氣壓縮、冷卻和凈化
   原料空氣經（空壓機配置有吸入空氣過濾器和中間/后冷卻器）多級離心式透平壓縮機壓縮，壓縮產生的熱量被中間冷卻器和后冷卻器帶走，而后在空氣冷卻塔中被污氮和冷凍水進一步冷卻到所需的溫度。采用除霧器來除去空氣中的水分，此外還設置了水分離器。
  預冷后的空氣通過雙層床吸附器，由吸附器內充填的活性鋁和分子篩來*空氣中的水分、*和碳氫化合物。空氣穿過出床層后，進入濾塵器中去除空氣中可能含有的分子篩粉末。在濾塵器之后抽出一小股空氣，作為空分設備的儀表空氣。
  兩臺吸附器一臺使用，另一臺由來自冷箱的污氮進行再生。再生氣體（污氮）在再生加熱循環中由電加熱器加熱。
   空氣離開凈化系統治后，干凈的空氣被分成兩股。一股（5－6 kg/cm2 g的中壓空氣）進入冷箱內的主換熱器，另一股經多級離心空氣增壓機壓縮至高壓后送入冷箱。中壓空氣和高壓空氣經冷箱內的主換熱器與返流液氧換熱而被冷卻，制取產品氧氣，產品氮氣和污氮。
空氣精餾
 　空氣精餾在空分設備冷箱中進行。冷箱中設有主換熱器，氮加熱器，下塔，上塔，主冷凝器，氬冷凝器，氬塔，透平膨脹機，低溫泵等。
   接近的中壓空氣（5－6 kg/cm2 g）進入下塔進行初次分離。
 一部分高壓空氣從主換熱器的某一位置抽出，送入透平膨脹機中膨脹以獲得所需的冷量。膨脹后的空氣送入中壓塔（下塔的底部）。另一部分高壓空氣在與膨脹機聯軸的增壓機中進一步壓縮，提高了壓力，在主換熱器中使液氧蒸發，經膨脹閥膨脹后送入中壓塔（下塔的底部）。經冷箱內的低溫精餾，氧和氮從空氣中分離出來。為了制取氬氣，將上塔中部的氬餾分送入精氬塔中，去除其中的氮成分。把塔底部得到的純液氬送入儲罐。