可以獨立確定X射線束的長度和寬度。被輻照樣品區域的長度（沿內核方向）可以在10到 之間變化。

來自帶有Rh陽極的X射線管的直接輻射用于激發樣品中的元素（從Mg到U）。當入射的X射線束穿透樣品時，會發生元素的初級熒光。但是，元素間效應（二次熒光）會在被照射的樣品體積之外生成X射線熒光，因此可以檢測到超出被照射樣品區域的X射線。這會導致分辨率降低。然而，帶有狹縫選項的Avatech光學系統阻止了這種效果。為了能很好地探測到光元素，整個光學系統都經過He散射處理。在測量過程中，裝置與沉積物接觸。沉積物上覆蓋著一層對X射線高度透明的薄箔，以防止儀器被弄臟和樣本在長時間的測量過程中干燥