QMS-100四極質譜計廣泛應用于涉及真空尤其是超高真空系統的氣體成分分析、分壓力測量和檢漏。對未知氣體進行分析，確定其質量數、物質組成成分及其比例，也可用于真空氣體分壓力檢測和真空檢漏。