六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半導體助劑
中文名稱： 六甲基二硅氮烷
中文別名： 六甲基二硅亞胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
英文名稱： 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS號： 999-97-3
EINECS號： 213-668-5
分子式： C6H19NSi2
分子量：
密度(25℃)g/cm3： — ;
折光率()： ±
六甲基二硅氮烷含量(%)：≥ ;
六甲基二硅氧烷含量(%)：≤
三甲基硅醇含量%：≤ ;
閃點：27℃
沸點：126℃ 色度：≤10
用途：特種有機合成。衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。