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實驗型真空等離子設備比較小巧、處理效果也比較理想，真空度是保障效果的一大因素,看看實驗型等離子設備的真空泵控制方式。 大部分真空等離子清洗機腔體抽空所使用的真空泵有干泵和油泵兩種,有的使用單個泵,也有使用泵組的。小型實驗型的真空等 子清洗機使用單個泵，它的操作面板主要由按鈕，狀態指示燈,帶指示燈的蜂鳴器，功率調節器,數顯式真空計，定時器，旋 鈕開關，浮子流星計等部件組成，其空泵的啟?？刂剖怯蓭ё枣i的點動按鈕去直接控制交流接觸器，交流接觸器觸點的通斷控 制真空泵三相電的通斷，這種控制比較直觀簡單,在手動操作的這種小型的等離子清洗機上面這種控制方式完全可以滿足控制要 求，但如果要用這種方式實現自動控制，不但難度比較大,控制的精度和安全性都很難達到要求。