在超純水的生產過程中，離子水可用電滲析、反滲透、離子交換技術去除，去除顆粒一般可用濾法和水膜過濾技術;水中的細菌，目前服藥或紫外線或臭氧在水中TOC的去除;采用活性炭，反滲透處理。在高純水的應用領域，純水的純度直接關系到裝置的性能和可靠性，因此高純水的純度和精密度要求非常高。
    在電解質溶液中的離子交換混床離子交換樹脂，可去除水中的各種陰、陽離子，是對純水的制備過程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水里的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的OH-離子的陰離子樹脂的陽離子交換樹脂的離子交換，從而達到脫鹽的目的。楊與陰混合柱的不同組合，可使水質達到更高的要求，并產生更高的純水標準。離子交換法是目前國內外水工業常用的一種理想的方法，是有效的化學方法之一，離子交換是通過陰、楊電解質離子的去除、水的工藝而得到的離子交換樹脂的選擇性反應和平衡原理。這是一套成熟的制水工藝，得到了廣大用戶的廣泛認可。
    再活化原理：當設備運行一段時間時，樹脂失效，此時需要再生，以恢復交換容量。注意：1、操作人員應具備純水設備的基本知識，掌握操作規程。2、本設備嚴禁壓負荷。3、電動機應定期檢查。4、閑置時間長，應定期攪拌，以免樹脂發霉。