廢氣凈化設(shè)備利用高頻高壓靜電的特殊脈沖放電方式（發(fā)射裝置每秒鐘發(fā)射上千億個(gè)高能離子），產(chǎn)生高密度的高能活性氧（介于氧分子和臭氧之間的一種過(guò)渡態(tài)氧），迅速與污染物分子碰撞，激活有機(jī)分子，并直接將其破壞；或者高能活性氧激活空氣中的氧分子產(chǎn)生二次活性氧，與有機(jī)分子發(fā)生一系列鏈?zhǔn)椒磻?yīng)，并利用自身反應(yīng)產(chǎn)生的能量維系氧化反應(yīng)，進(jìn)一步氧化有機(jī)物質(zhì)，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在極短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到很高的處理效率。
由于上述過(guò)程是在常溫下進(jìn)行的，因此也稱(chēng)為“低溫燃燒”過(guò)程，包括了許多種技術(shù)和作用，如過(guò)氧化氫、·OOH的催化作用和紫外線作用，這是一個(gè)極端復(fù)雜的物理過(guò)程，產(chǎn)生O2、O2-、O2+、·OH、·H02、·O、O等氧簇聚集體，由于具有極強(qiáng)的氧化能力，因此我們稱(chēng)其為“活性氧”。
根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，并結(jié)合國(guó)外采用氧化法處理惡臭的資料，基本確定AOE設(shè)備處理各種惡臭組分的機(jī)理和主要產(chǎn)物。惡臭污染物中主要含有的氣相污染物有H2S、NH3、CH3SH、VOCs（揮發(fā)性有機(jī)化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途徑有兩條：一是在高能電子的瞬時(shí)高能量作用下，打開(kāi)某些有害氣體分子的化學(xué)鍵，使其直接分解成單質(zhì)原子或沒(méi)害分子；二是在大量高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和氧自由基、氫氧自由基（自由基因帶有不成對(duì)電子而具有很強(qiáng)的活性）等作用下的氧化分解成沒(méi)害產(chǎn)物。
其反應(yīng)機(jī)理為：
H2S + O2、O2-、O2+  → SO3 + H2O
NH3 + O2、O2-、O2+  → NOx + H2O
VOCs + O2、O2-、O2+ → SO3 +CO2+ H2O